产品特点
●采用电容耦合电极和专利化的电极设计（专利号：US Patent. 4,887,005/5,190,703/5,228963/5,468,560/5,733,511），低失真、高效率的特性，保证了样品室内等离子体分布的均一性；
●采用自动调频高频发生器，保证了等离子体发生的稳定性和有效性；
●采用高精度的流速控制和压力控制部件，保证了气体的精确控制、高重现性混合和分布；
●采用软件控制，确保控制的方便有效和实时监控；
●一体化的高真空系统，确保了操作的方便性和稳定性；
●多种样品室可供选择，如耐热玻璃和石英等，更能满足广大客户的需求多；
●体积小，可远程操作，多种安全保护，保证操作的安全和方便；
●样品室和功率设计合理，可满足绝大部分科研需要；
●全自动操作，方便可靠。
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